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行星减速机传动装置的重量，一般情况下正比于齿轮的重量，而齿轮的重量与其材料和热处理硬度有很大关系。例如在相同功率下，渗碳淬火齿轮的重量将是调质齿轮重量的1/3左右。所以针对行星齿轮减速机的结构特点和齿轮的载荷性质，应该广泛采用硬齿面齿轮。获得硬齿面齿轮的热处理方法很多，如表面淬火，整体淬火、渗碳淬火、渗氮等，应根据行星齿轮减速机的特点考虑选定。 1、表面淬火 常见的表面淬火方法有高频淬火（对小尺寸齿轮）和火焰淬火（对大尺寸齿轮）两种。表面淬火的淬硬层包括齿根底部时，其效果好。表面淬火常用材料为碳的质量分数约0.35%~0.5%的钢材，齿面硬度可达45~55HRC。 2、渗碳淬火 渗碳淬火齿轮具有相对的承载能力，但采用精加工工序（磨齿）来解决热处理变形，以保证精度。 渗碳淬火齿轮常用渗碳前碳的质量分数为0.2%~0.3%的合金钢，其齿面硬度常在58%~62%HRC的范围内。若低于57HRC时，齿面强度显著下降，高于62HRC时则脆性增加。轮齿心部硬度一般以310~330HBW为宜。渗碳淬火齿轮的硬度，从轮齿表面至深层应逐渐降低，而渗碳深度规定为表面至深层应逐渐降低，而渗碳深度规定为表面至硬度52.5HRC处的深度。 渗碳淬火在轮齿弯曲疲劳强度方面的作用除使心部硬度有所提高外，还在于有表面的残余压应力，它可使轮齿拉应力区的应力减小。因此磨齿时不能磨齿根部分，滚齿时要用留磨量滚刀。 3、渗氮 采用渗氮可保证轮齿在变形小的条件下达到很高的齿面硬度，热处理后可不再进行的精加工，提高了承载能力。 4、想啮合齿轮的硬度组合 当大、小齿轮均为软齿面时，小齿轮的齿面硬度应高于大齿轮。而当两轮均为硬齿面且硬度较高时，则取两轮硬度相同。 选择好的行星齿轮减速机材料，有利于提高齿轮减速机的承载力及使用寿命。
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